CF4 GAS

Tetrafluoromethane, also known as carbon tetrafluoride or R-14, is the simplest perfluorocarbon (CF4). As its IUPAC name indicates, tetrafluoromethane is the perfluorinated counterpart to the hydrocarbon methane. It can also be classified as a haloalkane or Halometan . Tetrafluorometane este un refrigerant util, dar și un puternic gaz cu efect de seră . are o rezistență de legătură foarte mare datorită naturii legăturii de carbon -fluorină .}}

Tetrafluorură de carbon

Cas: 75-73-0

ONU: 1982

Einecs: 200-896-5

Formula moleculară: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >98% eficiență de distrugere folosind combustie la 1.100 de grade urmată de spălare . Tranziția la extremă ultravioletă (EUV) Litografia a crescut consumul de gaz CF4 cu 20% pentru aplicațiile de curățare a fotomascului .

Tetrafluorometanul este uneori utilizat ca refrigerant la temperatură scăzută (r -14) . este utilizat doar în microfabricarea electronică sau în combinație cu oxigenul ca etchant plasmatic pentru siliciu, siliciu dioxid, iar nitrurile de silicon . IT, de asemenea

• Folosiți întotdeauna în conformitate cu fișa de date de siguranță (SDS) .
• Cilindrul trebuie depozitat și utilizat într-o poziție verticală, securizată într-o zonă bine ventilată sau monitorizată .
• Urmați întotdeauna cerințele locale de cod de incendiu la stocarea cilindrilor de gaz .
• Pericole majore: foc, sufocare .

Jiangsu MR Chemical Co., Ltd, stands at the forefront of innovation in the realm of gaseous productions, specializing in the full spectrum of standard gases, special gases, high-purity gases, and electronic gases, we mainly serves semiconductor, led, optical fiber, solar energy, petrochemical, biomedicine, University, scientific research, electric energie electrică, electronică, transport maritim, mine de cărbune, automobile, medicale, protecție împotriva incendiilor, aerospațial, alimente, construcții, topire, produse chimice fine, prelucrare și fabricație .

Tag-uri populare: CF4 GAS, CHINA CF4 Producători de gaze, furnizori, fabrică, 99 999 5N Tetrafluorură de carbon CF4Tetrafluorură de carbon R14heliu purTetrafluorură de carbon de înaltă puritateRefrigerant Gaz R14 Tetrafluorură de carbon